技術(shù)編號：6171886
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置，其課題在于提高缺陷的檢測精度。缺陷檢查方法包括照射工序，從光源向被檢查物照射可見光和不可見光；數(shù)據(jù)生成工序，分別接收由被檢查物反射或透過被檢查物的可見光和不可見光，并根據(jù)各受光量分別生成拍攝數(shù)據(jù)；判定工序，當(dāng)比較可見光和不可見光下的、在拍攝數(shù)據(jù)的變動(dòng)區(qū)域的該拍攝數(shù)據(jù)的變動(dòng)程度而得的結(jié)果屬于預(yù)先存儲(chǔ)的成為缺陷的范圍內(nèi)時(shí)，判定為缺陷。專利說明缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置[0001 ] 本發(fā)明涉及一種用于檢查被檢查物缺陷...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。