技術(shù)編號：6167748
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)更高速的測量并能夠獲得更高精度的測量結(jié)果的裝置，來作為對薄膜的光學(xué)特性值和光學(xué)膜厚值中的至少一個(gè)值進(jìn)行測量的測量裝置。對形成于監(jiān)視基板(Sm)的薄膜的包括光學(xué)特性值和光學(xué)膜厚值中的至少一方的值進(jìn)行測量的測量裝置(101)具備光信號產(chǎn)生機(jī)構(gòu)(10)，其將多個(gè)LED單元(11a～11f)利用光學(xué)濾光鏡所生成的單色光調(diào)制成對于每個(gè)光源單元互不相同的設(shè)定頻率，并發(fā)出多個(gè)光信號；照射機(jī)構(gòu)(20)，其對該多個(gè)光信號進(jìn)行復(fù)用而生成復(fù)用信號，并通過光...
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