技術(shù)編號：6166500
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。諧振器微電子陀螺儀、優(yōu)選微機電系統(tǒng)（MEMS）陀螺儀包括懸掛用于旋轉(zhuǎn)振動的第一和第二諧振器質(zhì)量塊（1，2）。兩個質(zhì)量塊（1，2）被四個機械耦合元件（4，5，6，7）彈性地連接以反相振動。在每個諧振器質(zhì)量塊（1，2）上有至少一個正感測電極和至少一個負(fù)感測電極（S11+，S11-，S21+，S21-），用于檢測質(zhì)量塊（1，2）的面外輸出運動。檢測電路被連接到所述正感測電極和負(fù)感測電極，并基于下式由信號的差分檢測確定輸出信號Sxout=({S21+}-μ{S11...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。