技術(shù)編號(hào):6166342
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種電容式壓力傳感器,在固定電極(32)的上面形成電介質(zhì)層(33),在電介質(zhì)層(33)的表面凹設(shè)有凹部(34)。以覆蓋凹部(34)的方式在電介質(zhì)層(33)的表面上層疊上基板(37),在凹部(34)的上方配設(shè)薄膜狀的導(dǎo)電性膜片(38)(上基板37的一部分)。在凹部(34)內(nèi),在電介質(zhì)層(33)的表面上形成有用于與膜片(38)接觸的第一接觸面(35)和第二接觸面(36)。第一接觸面(35)和第二接觸面(36)例如為水平面,第一接觸面(35)和第二接觸面(36)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。