技術編號:6162728
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。本發(fā)明采取的方案為對波長編碼式光學位移傳感器的數(shù)據(jù)處理流程為(1)光譜儀讀取傳感器的輸出衍射光的光譜數(shù)據(jù);(2)通過半高寬尋峰算法對數(shù)據(jù)進行處理得到中心波長;(3)由中心波長通過綜合回歸插值求得位移信息。本發(fā)明去掉了以往通過衍射公式求取柵密的過程,直接由中心波長求得位移,其優(yōu)點在于a)快速性,無需進行柵密計算的過程,縮短了數(shù)據(jù)處理時間;b)準確性,拋開了柵密方程擬合的誤差,提高了計算精度;c)獨立性,不受光柵衍射角度誤差的影響,消除了加工及裝配...
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