技術(shù)編號(hào):6161803
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明實(shí)施例提供一種非制冷紅外成像焦平面陣列探測(cè)器,包括透明襯底(1)以及以非嵌套的方式平鋪在所述透明襯底(1)上的多個(gè)微懸臂梁?jiǎn)卧?);所述透明襯底(1)對(duì)與所述非制冷紅外成像焦平面陣列探測(cè)器相配套的讀出光路的光線透明。本發(fā)明實(shí)施例提供的非制冷紅外成像焦平面陣列探測(cè)器,對(duì)目標(biāo)物體進(jìn)行檢測(cè)時(shí),由于襯底透明,避免了硅襯底對(duì)于來(lái)自目標(biāo)物體的紅外光的遮擋和反射引起的能量損失,可有效提高檢測(cè)靈敏度;同時(shí),因?yàn)橐r底透明,也無(wú)需對(duì)襯底進(jìn)行鏤空,避免了制作全鏤空結(jié)構(gòu)所...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。