技術(shù)編號:6161201
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明揭示了一種互連電遷移的測試結(jié)構(gòu),該測試結(jié)構(gòu)包括下層結(jié)構(gòu),包括第一下層結(jié)構(gòu)和第二下層結(jié)構(gòu);上層結(jié)構(gòu),位于所述下層結(jié)構(gòu)上,所述上層結(jié)構(gòu)包括第一上層電流引線、第二上層電流引線和條形的上層待測結(jié)構(gòu),所述第一上層電流引線和第二上層電流引線用于為所述上層待測結(jié)構(gòu)提供電壓;通孔結(jié)構(gòu),包括第一通孔結(jié)構(gòu)、第二通孔結(jié)構(gòu)、第三通孔結(jié)構(gòu)和第四通孔結(jié)構(gòu);以及電介質(zhì),所述第一下層結(jié)構(gòu)、第二下層結(jié)構(gòu)、第一上層電流引線、第二上層電流引線、上層待測結(jié)構(gòu)和通孔結(jié)構(gòu)通過所述電介質(zhì)絕緣間隔...
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