技術編號：6159277
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明揭示用于在經(jīng)歷經(jīng)界定光刻工藝的同時測量光敏材料(例如，光致抗蝕劑)的性質(zhì)(例如，收縮)的系統(tǒng)和方法。所述系統(tǒng)包含適于執(zhí)行所述光敏材料的經(jīng)界定光刻工藝的光刻處理系統(tǒng)，以及適于執(zhí)行所述光敏材料的所述性質(zhì)的測量的相干反斯托克斯拉曼散射CARS顯微術系統(tǒng)。在另一方面中，所述CARS顯微術系統(tǒng)適于在通過所述光刻處理系統(tǒng)對所述光敏材料執(zhí)行所述經(jīng)界定光刻工藝的同時測量所述光敏材料的性質(zhì)。在再一方面中，所述CARS顯微術系統(tǒng)適于在對所述光敏材料的所述經(jīng)界定光刻工藝暫...
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