技術(shù)編號(hào):6159239
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在一種中,所述方法包括以下步驟(a)提供圓柱形背襯管;(b)提供圓柱形濺射靶,圓柱形濺射靶的內(nèi)徑大于背襯管的外徑;(c)圍繞背襯管布置濺射靶;以及(d)通過在背襯管與濺射靶之間提供焊料層來將濺射靶結(jié)合至背襯管;根據(jù)本發(fā)明,步驟(d)包括使焊料層定向地固化。專利說明[0001]本發(fā)明涉及圓柱形濺射靶組件,并且涉及形成該圓柱形濺射靶組件的方法。背景技術(shù)[0002]盡管在許多濺射過程中仍采用平面濺射靶,但由于圓柱形濺射靶提供了比平面靶更高的材料使用效率,故近年來...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。