技術(shù)編號：6157541
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及位移測量干涉儀，特別是一種雙光源正弦相位調(diào)制位移測量干涉儀。背景技術(shù)信息技術(shù)和微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的迅速發(fā)展，對位移檢測技術(shù)提出了越 來越高的要求。干涉測量技術(shù)因?yàn)榫哂懈呔?、高分辨率、非接觸性等優(yōu)點(diǎn)被廣泛研究。正 弦相位調(diào)制干涉技術(shù)是一種國際前沿的干涉測量技術(shù)，具有精度高、調(diào)制方便、結(jié)構(gòu)簡單等 優(yōu)點(diǎn)，近年來受到研究人員的重視，在位移測量領(lǐng)域得到了很大發(fā)展。 用于位移測量的正弦相位調(diào)制干涉儀具有納米精度，但測量范圍只有半個波 長。為了解...
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