技術(shù)編號(hào)：6157471
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子檢測(cè)，特別涉及超快高電子遷移率晶體管(HEMT)(本 發(fā)明中簡(jiǎn)稱"超快三極管HEMT")工作頻率的測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體三極管是構(gòu)成微波、毫米波振蕩器的基本單元，同時(shí)也是現(xiàn)代集成電路中 最重要的組成部分。隨著化合物半導(dǎo)體三極管的工作頻率在不斷增加，超快的三極管的工 作頻率已經(jīng)超過了 lOOGHz，如何測(cè)量高頻狀態(tài)下半導(dǎo)體三極管的工作頻率和相應(yīng)的特性參 數(shù)已成為越來越難以解決的問題。 在低頻情況下，測(cè)特性參數(shù)通常的方法是，通過網(wǎng)絡(luò)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。