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一種測(cè)試裝置及其測(cè)試方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6156967

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本發(fā)明涉及集成電路及微機(jī)電系統(tǒng)測(cè)試領(lǐng)域,特別涉及。背景技術(shù)在半導(dǎo)體集成電路設(shè)備的制造過(guò)程中,在對(duì)該集成電路設(shè)備進(jìn)行封裝之前,為了 檢驗(yàn)該設(shè)備的整體或部分的電氣特性是否精確,通常需要對(duì)該設(shè)備進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試設(shè)備通 常包括測(cè)試儀和探針卡。探針卡是測(cè)試儀與待測(cè)設(shè)備之間的接口,電連接測(cè)試儀內(nèi)的電信 號(hào)探測(cè)部件和待測(cè)設(shè)備上的測(cè)試壓焊點(diǎn)。傳統(tǒng)的探針卡為帶有很多細(xì)的探針的印刷電路 板,探針通常由鎢制成,通過(guò)探針與待測(cè)設(shè)備進(jìn)行的物理和電學(xué)接觸,將待測(cè)設(shè)備測(cè)試壓焊 點(diǎn)的電流傳...
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