技術編號：6155577
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有設置在基底平面上方的質量的加速度傳感器。 背景技術就在娛樂和汽車電子裝置中的應用而言，三軸加速度傳感器、特別是 微機械式三軸加速度傳感器是需要的。在此，希望加速度傳感器具有盡可 能緊湊的結構方式。微機械式加速度傳感器的基本原理在于，振動質量借助于懸掛裝置相 對于固定電極可動地支承在基底上。振動質量和固定電極形成一個或多個 電容器。由作用在微機械式加速度傳感器上的加速度引起的振動質量偏移 導致這些電容器的電容變化，所述電容變化能被檢測并作為...
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