技術(shù)編號：6153637
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及靜電電容膜片真空計(jì)和真空處理設(shè)備。 背景技術(shù)靜電電容膜片真空計(jì)可以高精度地測量壓力，并且可以使用微機(jī)械(MEMS)技術(shù)被大規(guī)模生產(chǎn)，因此，其被廣泛地用作用于真空處 理設(shè)備等的壓力傳感器。靜電電容膜片真空計(jì)是這樣一種設(shè)備，其中在真空中設(shè)置膜片和 與該膜片相對的檢測電極。該設(shè)備通過測量膜片和檢測電極之間的靜 電電容的變化程度來測量壓力。圖3是示出了作為現(xiàn)有技術(shù)的日本專利特開第2001-255225號中 公開的靜電電容膜片真空計(jì)的示意性截面圖。如圖3所...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。