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一種帶硅支撐框架的全鏤空結(jié)構(gòu)光調(diào)制熱成像焦平面陣列的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6150921

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本發(fā)明涉及用于獲取并轉(zhuǎn)換紅外信號的傳感元件,尤其涉及一種帶 有硅支撐框架的全鏤空光調(diào)制熱成像焦平面陣列。背景技術(shù)紅外輻射探測裝置用于將不可見的紅外輻射轉(zhuǎn)化為可見的圖像。按 照探測原理的不同,可以把傳統(tǒng)的紅外輻射探測裝置大致分為兩類量 子型的和熱型的紅外輻射探測器。量子型的紅外輻射探測器將紅外光子的能量轉(zhuǎn)化為電子的能量。由 于8-14微米的紅外光子的受激電子的能量和室溫下電子熱運動產(chǎn)生的能 量相當,因此需要將探測器的溫度維持在液氮溫度(約77K)來抑制電子 ...
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