技術(shù)編號：6146157
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器制造， 一種提高硅電容壓力傳感器過壓能力的設(shè)計(jì)及實(shí)現(xiàn)方法。 背景技術(shù)電容差壓傳感器是一種新型的差壓、壓力傳感器，其核心檢測部件把外加的兩個(gè)不 同壓力信號轉(zhuǎn)換為各個(gè)相應(yīng)的電容變化，后部檢測電路則把電容的變化轉(zhuǎn)換為電信號，對 該電信號進(jìn)行處理檢測就可以得到外加壓力值。壓力傳感器通常是工作在規(guī)定的量程范圍內(nèi)。但在實(shí)際現(xiàn)場工作環(huán)境中，或者是工 作環(huán)境的具體條件要求，或者是傳感器安裝時(shí)意外情況的出現(xiàn)，可能導(dǎo)致壓力傳感器的加 壓力超過傳感器量程范圍。對...
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