技術(shù)編號：6145941
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及缺陷檢測裝置。 背景技術(shù) 在用于印刷布線基板的制造等的曝光裝置中，描繪有曝光圖案的光掩模支承在透過曝光光的玻璃上。 在曝光裝置中，在使光掩模與基板緊貼的接觸曝光裝置中使用的玻璃厚且大，因此在內(nèi)部可能包含氣泡和異物。 這些氣泡和異物根據(jù)玻璃的厚度方向的高度位置，給曝光造成的影響不同。例如，在曝光時，曝光對象即基板的抗蝕劑面位于玻璃的下表面?zhèn)龋跉馀莺彤愇锾幱诳拷Ａ卤砻娴奈恢脮r，即靠近抗蝕劑面時，給曝光帶來的不良影響變大。反之在靠近玻璃上表...
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