技術(shù)編號：6144098
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電子裝置制造，且更明確而言，涉及識別置于腔室中基板上薄膜的方法與設(shè)備。 背景技術(shù)于電子裝置制造工藝中，通常重要的是在于處理工具中操作基板的同時能夠檢測已沉積在、或已置于基板上的層和/或膜(如銅層)。例如，某些膜材料可能無法與某些腔室或工藝兼容，而將基板送入不兼容的腔室可能會造成腔室的損傷。用于進(jìn)行膜檢測的傳統(tǒng)裝置在復(fù)雜度、成本、時間與使用簡易度上有諸多缺點(diǎn)。 一般而言，傳統(tǒng)裝置需把基板從欲進(jìn)行分析的處理工具移出。因此需提供一膜檢測裝置，其提供操作...
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