技術(shù)編號(hào):6144019
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種諧振式水晶壓力傳感器,特別是一種采用水平極化切變波模式工作的水晶壓力傳感器。背景技術(shù)目前,諧振式水晶壓力傳感器的工作模式主要有兩大類聲表面波式和聲體波式。嚴(yán)格地講,目前的水晶聲表面波壓力傳感器應(yīng)稱為水晶瑞利波壓力傳感器,其缺點(diǎn)是一、瑞利波模式抗污染能力差,不能充入硅油,長(zhǎng)期穩(wěn)定性不及體波式;二、瑞利波模式壓力傳感器使用YX或ST水晶切型,其溫度和時(shí)間穩(wěn)定性不及聲體波傳感器;三、目前的水晶聲表面波壓力傳感器采用“水晶杯”結(jié)構(gòu)(具有盲孔的水晶片)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。