技術(shù)編號(hào)：6143682
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有至少一個(gè)差動(dòng)電容器的電容式微機(jī)械傳感 器的工作方法，該差動(dòng)電容器包括兩個(gè)固定電極和可移動(dòng)中心 電極，并且對(duì)固定電極和中心電極施加相等但極性相反的激勵(lì) 電壓，其中，中心電才及布置在兩個(gè)固定電才及之間且以彈性方式 懸置，以及可通過外力使中心電極偏轉(zhuǎn)并測(cè)量偏轉(zhuǎn)量。本發(fā)明 還涉及用于使上述微機(jī)械傳感器工作的電路結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)術(shù)語微機(jī)械傳感器(也稱作M E M S傳感器)表示微機(jī)械加速 器、微機(jī)械轉(zhuǎn)率(rate of rotation)傳感器和具有梳狀...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。