技術(shù)編號(hào)：6143452
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種位置測(cè)量裝置，其用于在至少兩維(X和Y) 中測(cè)量物體相對(duì)于工具的相對(duì)位置。背景技術(shù)這種位置測(cè)量裝置例如可以應(yīng)用于晶片光刻檢驗(yàn)機(jī)，其中光 學(xué)的、電子光學(xué)的或者離子光學(xué)的顯微鏡必須一夂常精確地在硅晶 片上定位。晶片就是該物體，而顯微鏡是該工具。但除了顯微鏡 之外也可以將其它任意傳感器和加工工具作為工具來(lái)使用。應(yīng)用 領(lǐng)域包括了相當(dāng)普遍的各種高精度的、(至少)兩維的定位。對(duì)于高精度地測(cè)量一維的位置來(lái)說(shuō)，通常應(yīng)用位置測(cè)量裝置 或者編碼器，其光學(xué)地掃描光...
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