技術編號：6139441
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種通過檢測靜電電容的變化來測量壓力的壓力傳感器。通常，通過檢測靜電電容而測出壓力的片狀電容型壓力傳感器具有襯底、與襯底一起形成間隙的膜片、設在襯底上的靜態(tài)電極、和與靜態(tài)電極相對置地固定到膜片上的可動電極。在具有這種結構的壓力傳感器塊中，當膜片因受壓力作用而移動時，可動電極和靜態(tài)電極之間的距離會發(fā)生變化從而改變了它們之間的靜電電容。根據靜電電容的變化可以測出施加到膜片上的壓力。已提出用藍寶石(人造金剛砂)制造由這種壓力傳感器塊的襯底和膜片構成的外...
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