技術編號：6139082
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于機械精密測量的，特別是屬于位移量和振動量的納米級的高精度測量，以及對能夠直接或間接地轉化為位移量的其他機械量和物理量的測量。當前以精密和超精密技術為特征的現(xiàn)代制造、微電子系統(tǒng)、微納米工程中，能夠?qū)崿F(xiàn)測控一體化的超精密加工與制作的設備得到普遍重視。在可以實現(xiàn)位移和振動量的非接觸式高精度測量中，光纖傳感技術提供了新的重要測量手段，并已開始進入實際應用領域。已有的一種雙光束干涉位相調(diào)制型光纖位移測量儀，如附圖說明圖1所示，主要由激光器101、耦合透鏡1...
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