技術(shù)編號(hào)：6137714
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種平面定位系統(tǒng)。背景技術(shù)集成電路(IC)封裝、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造等領(lǐng)域?qū)Υ笮谐?cm級(jí))、高速度(m/s級(jí))和高精度(μm至nm級(jí))定位系統(tǒng)的需要日益迫切。但目前存在的問題是1、傳統(tǒng)的串聯(lián)結(jié)構(gòu)XY工作臺(tái)方式的平面定位系統(tǒng)，由于上層平臺(tái)作為基層平臺(tái)的工作負(fù)載，大大增加了基層平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)慣量，限制了整個(gè)系統(tǒng)的速度和加速度，系統(tǒng)工作效率低。2、現(xiàn)有的并聯(lián)結(jié)構(gòu)XY工作臺(tái)方式的平面定位系統(tǒng)，僅采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)+滾珠絲杠、直線電機(jī)或音圈電機(jī)等單一的驅(qū)動(dòng)器...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。