技術(shù)編號：6137446
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種在傳感器彈性體上直接加工應(yīng)變片的方法。背景技術(shù)多維力/力矩傳感器測量的物理量為三維力和三維力矩，亦即Fx、Fy、Fz、Mx、My、Mz，采用半導(dǎo)體制造工藝要求膜片位于同一平面，設(shè)計的彈性體結(jié)構(gòu)形式如圖1，傳感器的直徑19mm，高度為3mm，應(yīng)變梁共有9個。為了充分利用鉻膜，設(shè)計的版面如圖2所示。機器人技術(shù)已進入智能機器人時代，需要豐富的感知功能，微型多維力/力矩傳感器在機器人操作中大量使用，但是由于其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，應(yīng)變片數(shù)量多，采用手工粘貼的應(yīng)變...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。