技術(shù)編號：6136281
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種采用光學(xué)測量方法測量不規(guī)則表面微觀輪廓的計量儀器，特別涉及一種激光雙焦干涉球面輪廓儀?，F(xiàn)有的激光干涉表面輪廓儀，由光學(xué)系統(tǒng)，工作臺及計算機(jī)數(shù)據(jù)采集處理裝置組成，用于對表面微觀輪廓進(jìn)行非接觸無損檢測，可達(dá)到縱向分辨率為亞納米級，橫向分辨率為微米級，數(shù)據(jù)由計算機(jī)采集和處理，可顯示表面輪廓的各種參數(shù)及二維或三維表面微觀輪廓。它的缺陷一是難以對曲率半徑變化較大的球面表面的微觀輪廓進(jìn)行非接觸精密檢測，尤其是無法對光學(xué)透鏡的微觀輪廓進(jìn)行檢測；二是干涉系統(tǒng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。