技術(shù)編號：6136250
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及表面三維微細(xì)結(jié)構(gòu)測量，特別涉及一種三維超分辨共焦陣列掃描顯微探測方法及裝置。背景技術(shù) 共焦顯微鏡以其非接觸、高分辨率、三維數(shù)字化成像等顯著優(yōu)點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、生物、光刻、材料等領(lǐng)域，影響共焦顯微系統(tǒng)發(fā)展的關(guān)鍵因素是測量范圍、測量速度及其三維分辨力。微光學(xué)與微電子學(xué)的蓬勃發(fā)展，促進(jìn)了二元光學(xué)元件制作和加工技術(shù)逐漸走向成熟，使得傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)朝著小型化、陣列化、集成化方向發(fā)展。因此，將二元光學(xué)元件引入傳統(tǒng)共焦顯微系統(tǒng)中使二者有機(jī)的結(jié)合，是解決其三維...
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