技術(shù)編號：6134638
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及通過檢測由衍射光柵衍射的衍射光檢測位移的位移檢測裝置，通過采用由衍射光柵衍射的衍射光的干涉測量位移量的位移測量裝置，以及通過衍射光檢測固定點的固定點檢測裝置。背景技術(shù) 已知設(shè)計成利用光的干涉檢測安裝到活動標(biāo)尺上的衍射光柵的位置位移的光柵干涉儀?，F(xiàn)在，通過參照附圖的圖1在下面描述位移檢測裝置。圖1示意性描述包括透過型衍射光柵的位移檢測裝置。如圖1中所示，位移檢測裝置包括相干光源部分90、第一透鏡91、第一偏振光束分離器(PBS)92、第一四分之一波...
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