技術(shù)編號(hào)：6133602
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及制造工藝，特別是涉及用于精確定位周期配置的小(微米至亞微米)物體(object)的自動(dòng)化和非可見(non-visval)的方法?，F(xiàn)代工藝已經(jīng)能夠?qū)⒗珉娮悠骷奈矬w以更加縮小的尺寸(shrinkingdimensions)生產(chǎn)。今天，這樣的物體，例如動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)單元以亞微米的尺寸或大小進(jìn)行生產(chǎn)。這些非常小的物體十分經(jīng)常地被用在大量成組的稱為陣列的形式中，這些陣列經(jīng)常被配置并安裝在稱為晶片的一種平面上。這些陣列通常以周期地順序...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。