技術(shù)編號：6132549
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種新型集成壓力傳感器。作為基礎(chǔ)技術(shù)和高新類傳感器，厚膜壓力傳感器的集成化研究，目前在世界上屬于嶄新的課題。國外少數(shù)國家的厚膜壓力傳感器已經(jīng)產(chǎn)品化，但其厚膜壓力傳感器中的放大，調(diào)節(jié)電路是先單獨制作在印刷線路板上，再同厚膜壓力芯片組合在一起。厚膜集成壓力傳感器的研制涉及到的技術(shù)面廣，制作工藝交叉多，難度大。至今，國內(nèi)外尚未見到將厚膜力敏全橋和信號處理調(diào)節(jié)電路全部采用厚膜技術(shù)集成在同一芯片上的報道。本實用新型的目的是提供一種新型的厚膜集成壓力傳感...
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