技術(shù)編號：6130342
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，特別是一種確定預(yù)對準機與機械手坐標系相對位置的標定方法。背景技術(shù)隨著工業(yè)的發(fā)展，大量的自動化工具引入工業(yè)生產(chǎn)中，例如在晶圓的組裝過程中，首先是識別晶圓的缺口，而現(xiàn)有技術(shù)是采用真空吸附式單軸預(yù)對準機，單軸預(yù)對準機使用時都需要與機械手共同來完成對晶圓的預(yù)對準(識別晶圓圓心及缺口或切邊位置并使缺口或切邊朝向某一預(yù)設(shè)的方向)，并且大多采用真空吸附式機械手。當(dāng)預(yù)對準機識別出晶圓圓心后，應(yīng)由機械手調(diào)整晶圓位置，使預(yù)對準機上真空吸盤的轉(zhuǎn)軸通過晶圓圓心。若...
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