技術(shù)編號：6128962
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及具有例如加速度傳感器、角速度傳感器、振子、機械濾波器等功能的微型機電系統(tǒng)元件(MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems)元件)及其制造技術(shù)，涉及^皮氣密密封并與外 部進行電信號交換的MEMS元件及其制造技術(shù)。背景技術(shù)圖41表示以往的MEMS元件的密封技術(shù)和電極取出技術(shù)的一 例。在該技術(shù)中，在襯底上形成有MEMS結(jié)構(gòu)部501、梁502、電 極支承部503以及包圍MEMS結(jié)構(gòu)部501形成的外周壁504。在其 上下...
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