技術(shù)編號：6128592
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種按權(quán)利要求1前序部分所述的位置測量裝置以及一種按權(quán)利要求13前序部分所述的位置測量裝置。背景技術(shù) 所述位置測量裝置比如在US 2005/023450 A1中得到公開。該位置測量裝置除了比如構(gòu)造為線性反射整體量具的整體量具以外還包括一個可相對于該整體量具在至少一個測量方向上移動的掃描單元。在所述掃描單元的側(cè)面上，設(shè)置了一個光源以及一個周期性檢測器陣列形式的檢測器裝置。在所述掃描單元和整體量具進(jìn)行相對運(yùn)動的情況下，在檢測平面中產(chǎn)生一個依賴于移動地...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。