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測試裝置與其探針結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6127968

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本發(fā)明涉及一種探針結(jié)構(gòu),特別是涉及一種分離式的探針結(jié)構(gòu)。技術(shù)背景半導體的封裝測試可區(qū)分為兩大部份,分別是在晶圓加工完成后的晶圓測試(Wafer Probe and Sort),以及封裝完成后的成品測試(Final Test)。 晶圓測試是利用晶圓測試機(Wafer Prober)上晶圓測試裝置(Probe Card)的探針與待測晶圓上各晶粒的焊墊相連接,然后將測得的資料送往測試機 (Tester)作分析與判斷而整理出各晶粒的可修補資料。^^it對多補資料,...
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