技術編號:6127839
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種制造測輻射熱儀型非冷卻紅外傳感器的方法,該方法通過吸收入射的紅外線光來改變其入射光部分的溫度以便通過溫度的改變來改變電阻器的電阻值,由此輸出表示紅外輻射強度的信號。背景技術 測輻射熱儀利用了金屬或與半導體材料熱絕緣的半導體薄膜的電阻值的溫度變化。通常,隨著測輻射熱儀材料(即金屬或半導體薄膜材料)的電阻的溫度系數(以下稱為“TCR”)升高,測試靈敏度得到改進,且代表紅外傳感器的溫度分辨率的噪聲等效溫差(以下稱為“NETD”)得到降低。例如鎳-鐵...
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