技術編號：6125825
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種微機電的微加速度計，具體是一種雙模式反磁 敏感質量微加速度計。 背景技術眾所周知,微機械慣性儀表包括微慣性傳感器(微加速度計和微陀螺儀)和微 慣性測量組合(MIMU，由微慣性傳感器、微控制電路等構成)，是一類重要的微 機電系統(tǒng)。目前，MEMS加速度計是所有MEMS傳感器中發(fā)展應用最為成功的，中 低精度的微機械加速度計已有產(chǎn)品問世，正在推廣應用，并向更高精度發(fā)展。懸 浮式微加速度計相比非懸浮式的微加速度計由于消除了由于制造工藝以及機械連 接...
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