技術(shù)編號(hào):6123051
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例涉及。 背景技術(shù)原子探針(例如,原子探針顯微鏡)是一種可以在原子級(jí)別上分 析樣本的設(shè)備。例如,典型的原子探針包括樣本臺(tái)、電極和檢測(cè)器。 在分析期間,樣本由樣本臺(tái)承載,并且向樣本施加正電荷(例如,基 線(xiàn)電壓)。電極位于樣本和檢測(cè)器之間,并且接地或被負(fù)充電。間歇地 向樣本施加正電脈沖(高于基線(xiàn)電壓)和/或激光脈沖(例如,光子能 量)??蛇x地,可以向電極施加負(fù)脈沖。間斷性地(例如,每次100個(gè)脈沖)在樣本尖端附近電離單個(gè)原子。電離原子從表面分離或蒸...
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