技術(shù)編號：6122147
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明關(guān)于用于測量物理量如加速度、角加速度或角速度的測量裝置，更^青確i也是關(guān)于^U;i4成運動4專感器(micromechanical motion sensor)。本發(fā)明的目的是提供一種用于制造一種微機械運動傳感器的 改進的方法，以及尤其適用于小型微機械運動傳感器方案的微機械 運動傳感器。背景技術(shù)在微機械運動傳感器的基礎(chǔ)上進行的測量證明是一種原理簡單 和具有可靠性的測量物理量如加速度、角加速度或壓力的方法。在 微機械運動傳感器中，測量是在例如電容原理的...
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