技術(shù)編號：6115133
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種應(yīng)用表面等離子共振原理來測量微小間隙寬度、位移或相對位置的裝置和方法，尤其涉及一種應(yīng)用于納米級間隙、位移或相對位置的。 背景技術(shù) 長久以來，科學(xué)界在光學(xué)測量方法中，都是以光學(xué)干涉法的測量技術(shù)為主，通過分析干涉條紋的些許變化，可計算出相對物體的位移變化量(displacement shift)，且儀器的精密度越高，越可檢測出更微小的位移變化。但對于納米級間隙寬度(gap width)的測量方法，卻始終難以獲得突破性發(fā)展。究其原因應(yīng)是利用光...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。