技術(shù)編號(hào)：6114695
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種其至少一部分產(chǎn)生了彈性形變的微結(jié)構(gòu)、由該微結(jié)構(gòu)組成的懸臂、設(shè)置有該懸臂的掃描探針顯微鏡以及用于測(cè)量該微結(jié)構(gòu)的形變量的方法。背景技術(shù) 作為其至少一部分產(chǎn)生了彈性形變的微結(jié)構(gòu)，例如，存在構(gòu)成磁力顯微鏡(MFM)和原子力顯微鏡(AFM)的懸臂，這些顯微鏡是掃描探針顯微鏡(SPM)的兩種類型，此外，存在構(gòu)成掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(SNOM)的懸臂。例如，構(gòu)成AFM的懸臂將探針保持在其前端，將該探針布置成緊靠向樣品的表面，該樣品固定于實(shí)驗(yàn)臺(tái)或按高頻振動(dòng)。通...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。