技術(shù)編號：6111538
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，尤其涉及。技術(shù)背景目前主流的界面態(tài)測試方法為電荷泵方法(Charge Pumping)，中國專利CN 101136347公開了一種MOS管界面態(tài)的測試方法，所述測試方法包括如下步驟步驟1、采用電荷泵測試法測得一條電荷泵電流曲線，通過漏端開路和源端開路分別獲得另外兩條電荷泵電流曲線；步驟2、將這三條曲線相同部分和不同部分進(jìn)行分離可分別得到源、漏和溝道處電荷泵電流；步驟3、通過源、漏和溝道處電荷泵電流可獲得這三處界面態(tài)密度。但隨著器件特征尺寸...
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