技術(shù)編號：6111012
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在基板上形成電阻器后檢出所定的物理量的傳感器，例如涉及檢出流體的流量的流量傳感器、或加速度傳感器、傾斜傳感器中應(yīng)用的物理量傳感器。背景技術(shù) 作為檢出汽車等內(nèi)燃機的吸入空氣量的流量傳感器，有人提出在硅(Si)等半導(dǎo)體基板上，使用微型機器技術(shù)制造傳感器元件的方案。這種類型的流量傳感器，能夠用低成本大批量生產(chǎn)，還具有小型、能夠用低電力驅(qū)動的優(yōu)點。作為這種傳感器，能夠直接測量質(zhì)量流量的發(fā)熱電阻器式的空氣流量傳感器，已成為主流?，F(xiàn)有技術(shù)中廣為人知的半導(dǎo)體類...
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