技術(shù)編號：6110588
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總的來說涉及測試設(shè)備，更具體地說，本發(fā)明涉及控制測 試系統(tǒng)中的儀器。背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件的制造過程中，通常要對半導(dǎo)體器件測試多次。利 用被稱為"測試器"的一臺自動測試設(shè)備產(chǎn)生模擬在測器件(DUT) 的測試信號，然后，測量該響應(yīng)。通過將仔細(xì)控制測試碼型產(chǎn)生的響 應(yīng)與預(yù)期響應(yīng)進(jìn)行比較，該測試器確定DUT是否正常地工作。為了全面測試各器件，測試器應(yīng)該產(chǎn)生并測量在這些器件的工作 環(huán)境下可能被發(fā)現(xiàn)的信號。隨著半導(dǎo)體芯片的復(fù)雜程度的提高，要求 自動測試設(shè)備還產(chǎn)生...
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