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分析裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:6109905

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本發(fā)明涉及進行與試劑反應的試料的分析的裝置,特別是涉及利用微裝置等的分析用具的分析裝置。背景技術 近些年來,為了能夠?qū)ξ⒘康脑嚵线M行分析,被稱為微裝置的分析用具的開發(fā)很盛行。微裝置例如在玻璃基板及樹脂基板的一個面上,利用集成電路的微加工技術,形成微小的槽(寬度為數(shù)μm~數(shù)百μm)或凹部來制作(例如參照專利文獻1)。圖7是表示現(xiàn)有的微裝置的一例的分解立體圖。如圖7所示,微裝置將基板51和上蓋52相接合形成。基板51和上蓋52由透明的樹脂或玻璃那樣的透光性材料...
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