技術(shù)編號：6108193
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了。 背景技術(shù)電子束與物質(zhì)的相互作用是凝聚態(tài)物理研究中的一個(gè)非常重要的領(lǐng)域，主要應(yīng)用于電子顯微學(xué)(如掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM))、表面電子能譜(俄歇電子能譜、電子能量損失譜等)、電子探針微分析、電子束光刻、電子束焊接、電子束蒸發(fā)沉積薄膜制備、電子束固化技術(shù)。在電子顯微學(xué)和表面電子能譜中電子束作為探針轟擊樣品，在材料內(nèi)通過電子的散射產(chǎn)生表征材料性質(zhì)的各種特征信號，從而可獲得材料的晶體結(jié)構(gòu)、 組成成分、電子結(jié)構(gòu)、表面形貌、內(nèi)部...
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