技術(shù)編號：6102824
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，特別涉及一種流量測量裝置的結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù) 隨著微機電技術(shù)的進步，市場上對微流量計(miniature flow meter)的需求也日益增加，如在生技醫(yī)學上控制試劑或血液的注射泵等。然而就目前的技術(shù)而言，商用型的微流量測量儀器卻很少能對其宣稱的微流量測量范圍提出一套有效、或符合國際標準的校正方法，因而使用者無法確認該微流量計測量數(shù)據(jù)的可靠性。目前在市場上實用的微流量計產(chǎn)品仍極為有限，其測量原理大致區(qū)分為兩類熱感式(thermal...
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