技術(shù)編號：6102822
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種傳感器裝置，其中傳感器芯片和電路芯片層疊在一起，在傳感器芯片的一個表面上具有作為感測部分的可移動部分，這兩個芯片電連接。尤其是，本發(fā)明涉及一種用于通過可移動部分來檢測動態(tài)量如角速度、加速度等的傳感器裝置。背景技術(shù) 在具有傳感器芯片的傳感器裝置中，其中可移動部分形成于半導(dǎo)體基片的一個表面?zhèn)?，該可移動部分由一個動態(tài)量如加速度、角速度或壓力等來移動。例如，具有由梳齒形梁結(jié)構(gòu)體構(gòu)成的振動器的角速度傳感器、具有可移動電極和由梳齒形梁結(jié)構(gòu)體構(gòu)成的固定電極...
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