技術(shù)編號：6102568
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及利用薄膜體聲波諧振器(film-bulk acoustic waveresonator)振蕩器。背景技術(shù) 電容壓力傳感器在本領(lǐng)域中是公知的。典型的壓力傳感器包括一個固定的元件，該固定元件具有形成基本平行的平板電容器的一個極板的剛性平面導(dǎo)電表面。可移位(相對于固定元件)導(dǎo)電構(gòu)件(例如金屬膜片)或者鍍膜非導(dǎo)電構(gòu)件(例如金屬化陶瓷膜片)形成該電容器的另一個極板。膜片沿邊緣得到支撐，以使中央部分基本平行于固定極板，并且與該固定極板相對。因為傳感器一般具有...
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