技術(shù)編號:6102540
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及線性位移和角位移的光學(xué)測量裝置,更具體地,涉及下述的光學(xué)測量裝置,該光學(xué)測量裝置包括分度尺,其具有至少兩種碼道(track),增量碼道和絕對碼道;以及檢測單元,其具有用于測量相對位置的裝置和用于測量絕對位置的裝置。背景技術(shù) 已知下述的光學(xué)測量裝置,其包括具有增量碼道和絕對碼道的分度尺;以及具有用于測量相對位置的裝置和用于測量絕對位置的裝置的檢測單元。US 5,235,181A公開了一種具有這些特征的光學(xué)測量裝置。為了測量相對位置,所述檢測單元包括...
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