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接觸探針的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6100696

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本發(fā)明涉及用于半導體IC芯片和液晶顯示裝置等的電氣檢查的接觸探針。背景技術(shù) 在形成半導體基板和液晶裝置等的電路的電氣檢查中,使用由將多個接觸探針與被檢查電路的配列合在一起而配置的探針卡組成的檢查裝置。接觸探針為了進行與作為檢查對象的圖形配線確實接觸且不損傷配線,為了反復使用可能程度的適度的接觸,需要具有觸點機能的前端部和具有按壓功能的彈簧部?,F(xiàn)在,這些由各種各樣部件組合構(gòu)成例如特開2000-162241號公報和特開平11-337575號公報提出了用電鑄形成...
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